Подробности
Контроллер массового расхода Brooks Instrument 5850E
Контроллер массового расхода (КМР) серии Brooks Instrument 5850E — это высокопроизводительное устройство, разработанное для точного и воспроизводимого управления потоком газа в широком спектре применений. Известный своей надежностью и долгосрочной стабильностью, модель 5850E отличается прочной цельнометаллической конструкцией и проверенной конструкцией теплового датчика. Данный экземпляр настроен на заводе для газа этилен (C2H4) с полномасштабным расходом 200 см³/мин. Его аналоговый интерфейс управления обеспечивает беспрепятственную интеграцию в существующие системы управления, что делает его идеальным выбором для полупроводникового производства, химической обработки и исследовательских сред, где критически важна точная подача газа.
Технические характеристики:
- Бренд: Brooks Instrument
- Модель: 5850E
- Рабочий газ: C2H4 (Этилен)
- Полномасштабный расход: 200 см³/мин
- Опорная температура: 0°C
- Входное давление (Pin): 1 кг/см²
- Выходное давление (Pout): 10⁻³ торр
- Максимальное рабочее давление: 1500 psig (100 бар)
- Интерфейс управления: Аналоговый (+/- 15 В пост. тока)

Сопутствующие товары
Похожие
Я могу вам помочь? связаться с нами!









