Подробности
Контроллер массового расхода MKS 1179BX53CR14VSPC1
Контроллер массового расхода MKS 1179BX53CR14VSPC1 — это высокопроизводительный контроллер Mass-Flo®, предназначенный для точного и повторяемого контроля расхода газа в различных применениях. Данная конкретная модель настроена на заводе для работы с газом силаном (SiH4) и предлагает полный диапазон расхода 2000 sccm. Он изготовлен с долговечными уплотнениями Viton для совместимости и надежности. Как полный узел, он включает необходимую электронику контроллера и поставляется с оригинальной документацией по калибровке, что обеспечивает точность и немедленную готовность к использованию в требовательных процессах в полупроводниковом производстве, исследованиях и промышленных средах.
Технические характеристики:
- Бренд: MKS Instruments
- Модель: 1179BX53CR14VSPC1
- Рабочий газ: Силан (SiH4)
- Полный диапазон расхода: 2000 sccm
- Материал уплотнений: Viton

Сопутствующие товары
Похожие
Я могу вам помочь? связаться с нами!






